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檢測(cè)控制范圍

5??100% F.S.

對(duì)象液體種類(lèi) *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

很大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復(fù)性 *3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以?xún)?nèi) (T98)

2秒以?xún)?nèi) (T98)

使用環(huán)境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響 Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差壓值值 *5

很大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50??300kPa (with piezo 控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計(jì))

壓力損失

很大值. 500Pa

流量設(shè)定信號(hào)

模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號(hào)

模擬：0??5 VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16”， 1/8” SWL類(lèi)型， 

1/8” VCR 類(lèi)型

1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型

1/4” SWL類(lèi)型 

1/4” VCR 類(lèi)型

檢測(cè)控制范圍

5??100% F.S.

對(duì)象液體種類(lèi) *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

很大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復(fù)性 *3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以?xún)?nèi) (T98)

2秒以?xún)?nèi) (T98)

使用環(huán)境溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差壓值 *5

0.05??0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設(shè)定信號(hào)

模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號(hào)

模擬：0??5 VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

PO 類(lèi)型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類(lèi)型： 5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO 類(lèi)型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類(lèi)型： SUS316L，Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16” ， 1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型

1/8 SWL類(lèi)型，

 1/8”VCR 類(lèi)型

1/4” SWL類(lèi)型

1/4” VCR 類(lèi)型