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日本檢驗(yàn)儀器制造商協(xié)會(huì)的 JIMA 分辨率測(cè)試圖 JIMA RT RC-04 是采用新的半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的顯微圖。

日本JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

日本檢驗(yàn)儀器制造商協(xié)會(huì)的 JIMA 分辨率測(cè)試圖 JIMA RT RC-04 是采用新的半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的顯微圖。

它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率，并確保您的微焦點(diǎn)或納米分辨率 X 射線檢測(cè)系統(tǒng)的高質(zhì)量結(jié)果。

JIMA RT RC-04 支持 0.1 微米到 10 微米之間的分辨率。這對(duì)應(yīng)于 0.2 微米和 20 微米之間的焦點(diǎn)尺寸。

日本JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡應(yīng)用：

修復(fù) X 射線系統(tǒng)操縱器上的分辨率測(cè)試。選擇探測(cè)器、樣品和試管的距離，以實(shí)現(xiàn)高幾何放大倍率。選擇所需的 X 射線參數(shù)。

將分辨率測(cè)試放置在管子的前面，使線條圖案清晰可見(jiàn)。使用操縱器移動(dòng)測(cè)試圖，以便可以看到距離更短的下一行。只要清楚地解決了單獨(dú)的行，就繼續(xù)。焦點(diǎn)大小近似計(jì)算為小分辨率乘以 2。

注意：盡量減少輻射的持續(xù)時(shí)間。在手術(shù)過(guò)程中關(guān)閉 X 射線。目標(biāo)前面的熱量可能會(huì)損壞測(cè)試圖。

日本JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡技術(shù)參數(shù)：

線和空間大小：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0 ,4.0 ,5.0 ,6.0, 7.0, 8.0, 9.0,10.0 μm(行與空等寬)

每條狹縫由8條線組成，T型布局

吸收材料：鎢，厚度>= 650nm

保護(hù)膜：PET-film 25 μm(包括粘合層)

硅基：15 μm +/- 1 μm(厚度)

外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)

芯片尺寸：5 x 5 x 0.06 毫米(寬 x 高 x 深)

圖案精度：公差：+/- 10%

工作溫度范圍：10°C 至 70°C

提供帶測(cè)試報(bào)告的空氣懸掛箱.