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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

質(zhì)量流量計(jì)是用來測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需準(zhǔn)確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙

2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)

3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造

4.適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：80?9?1100℃

 

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：100?9?1120℃

 

SEC-8440LSL
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃

 

SEC-8450LSL
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃

 

SEC-8455LSL
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃

 

SEC-8460LSL
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃

 

SEC-8440LSM
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃

 

SEC-8450LSM
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃

 

SEC-8455LSM
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃

 

SEC-8460LSM
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃

 

SEC-8440LSH
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃

 

SEC-8450LSH
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃

 

SEC-8455LSH
氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃