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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質量流量控制器產品簡介：

質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需準確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質量流量控制器產品特點：

它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。

1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙

2.產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號

3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造

4.適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質量流量控制器技術參數：