英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀采用靈敏非損耗型等離子發射檢測器 (PED)技術和ProPeak信號處理技術,適用于半導體行業的一種高性能分析儀,可對Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC等多種氣體分析?。
英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀產品簡介:
1、優異的性能
創新的高靈敏度的等離子體發射探測器(PED)可以測量超微量Ar、N2、H2、CH4和CO2,CO,和NMHC。
propeak峰值檢測技術使測量靈敏度高。
直接分析法消除了FID和RGD測量的不確定性。
2、應用靈活
在一個廣泛包括He、H2、N2、 Ar、NMHC、Ar和O2等廣泛常見的背景氣中測量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO等氣體的更全的解決方案。
當結合DF-500和DF-700分析儀可以成為一個完全獨立的高純氣體分析的解決方案。
可以遠程訪問的數字通信配置:互聯網/以太網以及RS232。
3、使用簡便
監控軟件綜合了為充分色譜圖,處理結果,統計和歷史記錄。
內部稀釋系統選項易燃氣體燃料沒有要求,提高*全性和簡化安裝。
4、成本較低
非消耗的傳感器和智能軟件延長了校準的間隔。
不需要甲烷轉化器或消耗的燃料氣。
成本效益和簡單的長期維護工作。
5、關鍵應用
半導體生產裝置-質量控制
半導體生產裝置-靜態分析系統
6、適用規范和認證
規范: In compliance with Low Voltage, EMC and applicable Directives
認證:In compliance with EMC Directives, rated for Overvolta
ge Category II and Pollution Degree 2
英國Servomex仕富梅 SERVOPRO NanoChrome痕量氫烴分析儀產品特點:
SERVOPRO NanoChrome是適用于半導體行業的一種高性能分析儀,在包括He、H2、 N2、Ar和 O2等廣泛常見的背景氣中測量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO 、Ar 以及 NMHC。
采用先進的仕富梅專門開發的新型等離子發射光譜檢測器(PED)傳感技術和propeak軟件,NanoChrome在性能方面超過傳統的火焰離子化檢測器(FID)和還原氣體檢測器(RGD),在傳感技術的*全性和穩定性,降低成本的能力方面具有相當大的優勢。
仕富梅的先進的信號矯正技術使用propeak濾波技術提供一個高靈敏度、高選擇性 ,你可以信賴的測量。
當與仕富梅的DF-500超微量氧和DF-700微量水分析儀共同使用,NANOchrome能夠成為高純氣體監測的成套解決方案。