張松林
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德國(guó)英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀，是一款殘余氣體分析儀，用于一般真空應(yīng)用。
德國(guó)英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
INFICON, RGA為您提供標(biāo)準(zhǔn)的和高性能的殘余氣體分析儀來(lái)滿(mǎn)足您真空應(yīng)用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工業(yè)的數(shù)據(jù)收集速率, *小的可檢分壓(MDPP) 和訊噪比. 加上低的總體擁有成本和高的平均無(wú)故障時(shí)間(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 幫助您的收益底線遠(yuǎn)超過(guò)市場(chǎng)上其它RGA系列產(chǎn)品.
1、TRANSPECTOR MPS–氣體分析的標(biāo)準(zhǔn)
Transpector MPS 設(shè)計(jì)用于要求具有驗(yàn)證的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空應(yīng)用中的 RGA 分析. 質(zhì)量范圍100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供標(biāo)準(zhǔn)的監(jiān)測(cè)性能. RGA 的標(biāo)準(zhǔn)裝備是法拉第杯檢測(cè)器,當(dāng)需要監(jiān)測(cè)低濃度氣體時(shí), 可選用電子倍增器檢測(cè)器.
2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的應(yīng)用
Transpector MPH 設(shè)計(jì)用于要求 RGA 具有*高監(jiān)測(cè)性能的應(yīng)用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三種不同的質(zhì)量范圍, 具有工業(yè)上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可裝備法拉第杯或電子倍增器檢測(cè)器, 以及提供可選的校準(zhǔn)氣體, 用于簡(jiǎn)易和RGA 質(zhì)量標(biāo)度自動(dòng)調(diào)諧的校準(zhǔn)參考.
3、傳感器設(shè)計(jì)用于工業(yè)的MBTF和低的總體擁有成本
綜合地采納客戶(hù)的反饋和深入的市場(chǎng)分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的離子源. 新型離子源在陽(yáng)及, 陰及和反射及的組裝件中包含兩根燈絲. 帶有備用燈絲的雙燈絲結(jié)構(gòu)可延長(zhǎng) RGA 的運(yùn)行周期和避免出現(xiàn)意外的系統(tǒng)停機(jī)故障. Transpector MPH 還提供特定應(yīng)用的燈絲選擇(鎢燈絲用于含鹵素的過(guò)程中或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過(guò)程中) 確保過(guò)程本身不會(huì)影響燈絲的使用壽命.
在一般真空應(yīng)用中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的銥燈絲.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件等同于傳統(tǒng) RGAs 中更換整個(gè)離子源. 成本的節(jié)約將大大地降低這兩種 RGAs 的總體擁有成本.
新型傳感器結(jié)構(gòu)提供更多的優(yōu)越性, 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器 (如裝備). 您可在定期的維護(hù)周期中快速地現(xiàn)場(chǎng)更換 EM. 新型倍增器已發(fā)展為具有更長(zhǎng)使用壽命, 提供更高的法拉第杯(FC) 靈敏度和更強(qiáng)的增益.
4、可定標(biāo)的通訊方法用于現(xiàn)代化的制造*心
Transpector MPS 和 MPH 采用以太網(wǎng)作為 RGA 與計(jì)算機(jī)之間默認(rèn)的通訊手段. 對(duì)于單傳感器運(yùn)行, 可將傳感器連接至現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或直接連接任何計(jì)算機(jī)上的以太網(wǎng)端口. 采用現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)或用可選的路由器或以太網(wǎng)開(kāi)關(guān), 可實(shí)行多傳感器運(yùn)行.
5、滿(mǎn)足您需要的軟件
Transpector MPH 與得獎(jiǎng)的 FabGuard 程序套件是完全兼容的, 包括與 FabGuard 工藝集成監(jiān)測(cè)軟件和FabGuard Explorer 檢測(cè)軟件.
為易于運(yùn)行, Transpector MPS 設(shè)計(jì)于使用FabGuard Explorer 軟件. 兩種 RGAs 均配備機(jī)載的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器,它允許從連接網(wǎng)絡(luò)的任何設(shè)備, 無(wú)軟件運(yùn)行您的 Transpector MPS 或 MPH. 這個(gè)網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器不僅是可查閱標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的單個(gè)程序. 而是允許用于您預(yù)期的全部手動(dòng)數(shù)據(jù)查閱技術(shù), 包含檢漏和傳感器調(diào)諧等標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)功能的網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器.
德國(guó)英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
超快的數(shù)據(jù)收集
校準(zhǔn)參考
TCP/IP 以太網(wǎng)連接性
雙燈絲
可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
組合的陽(yáng)及,陰及和反射及, 燈絲套件
可更換的傳感器和電子學(xué)
RoHS符合性
德國(guó)英?？礗NFICON Transpector MPH/MPS質(zhì)譜儀應(yīng)用領(lǐng)域：
1、真空爐
真空爐有不同的形狀和大小. 不管它們的用途如何, 均易于污染和出現(xiàn)漏泄. INFICON Transpector MPS 和 MPH 設(shè)計(jì)于防護(hù)這些不可避免的問(wèn)題. 為確定是否存在空氣漏泄,可采用Transpector MPS 或 MPH RGA 掃描, 檢測(cè)系統(tǒng)中的氣體狀態(tài)搜索是否存在 (氮和氧的比例為 4:1)的空氣, 使用內(nèi)置的檢漏檢查功能可將 RGA 轉(zhuǎn)變成為一臺(tái)就地氦檢漏儀. 可編程 FabGuard 傳感器控制器, 當(dāng)出現(xiàn)空氣漏孔時(shí), 即發(fā)出報(bào)警.
使用 Transpector MPH 檢測(cè)空氣漏孔的出現(xiàn), 并通過(guò)報(bào)警, 觸發(fā)訊號(hào)(數(shù)字輸出或繼電器)或發(fā)出電子郵件自動(dòng)通知用戶(hù).Transpector MPS 或 MPH 還可顯示來(lái)自泵的返流或不清潔部件的污染.
2、真空鍍膜
不管 PVD 過(guò)程的類(lèi)型(EB-PVD, IB-PVD, 標(biāo)準(zhǔn) PVD),與其它監(jiān)測(cè)方法不同的是, INFICON TranspectorMPS 和 MPH 將為您提供系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)情況. 無(wú)論是監(jiān)測(cè)過(guò)程室中的空氣漏孔還是氣體管道中的污染,Transpector MPS 和 MPH 均可提供手動(dòng)或自動(dòng)化的檢測(cè)結(jié)果
當(dāng)需要查明為什么您的過(guò)程室未能抽空至它的本底真空值時(shí),采用 FabGuard 中的內(nèi)置真空診斷,Transpector MPS 或 MPH 將自動(dòng)鑒別存在于系統(tǒng)中的氣體種類(lèi).
3、熱處理
任何低壓強(qiáng)熱處理應(yīng)用均可得益于 Transpector MPS 或 MPH 的使用. 如擔(dān)心是否存在一種特殊的氣體將與金屬產(chǎn)生相互作用時(shí),Transpector MPS 或 MPH 可監(jiān)測(cè)它的質(zhì)量數(shù), 并顯示其存在和相對(duì)的量值. Transpector MPS 或 MPH 還可用于在本底壓強(qiáng)下的實(shí)時(shí)檢漏監(jiān)測(cè)或手動(dòng)檢漏檢查.
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